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六维并联微动平台
  • 六维并联微动平台_六轴并联动力学微动平台采用德国smaract六自由度并联机器人hexapod

六维并联微动平台

六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
型号:
FPSMAR-P-SLL
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线 4006-118-227, 021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度
六维并联微动平台P-SLL采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六维并联微动平台
六维并联微动平台P-SLL
规格参数
分辨率<1nm
最大负载:1000g (10N)
最大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根据用户要求)
最大垂直载荷Fv:10N
最大水平力Fh:5N
定位器尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3
重量:≈ 300 ~2000 g
行程范围:
x- 20 ~ 1200 mm
y -45~119 mm
z - 16 mm
Θx:≤42 °
Θy:≤ 33°
Θz:≤42 °
带纳米传感器-S闭环
最小增量(x,y,z):1nm
最小增量(Θx,Θy,Θz):1urad
重复精度(xyz全行程):±200 nm
重复精度(Θxyz全行程):±10urad
重复精度(1mm行程@xyz):±15 nm
材料和真空可选项目
纳米级距离编码传感器
非磁性材料(NM)
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六轴并联定位平台应用案例
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