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大型光谱椭偏仪
  • 大型光谱椭偏仪SE200BM-M450是美国Angstrom进口光谱椭偏仪_Spectroscopic,Ellipsometer-孚光精仪

大型光谱椭偏仪

这款大型光谱椭偏仪SE200BM-M450具有450mm直径样品台,提供更为安全的样品操作和定位,具有250-850nm的波长范围,是美国Angstrom公司为大尺寸样品薄膜厚度测量而设计的美国进口光谱椭偏仪,Spectroscopic,Ellipsometer,具有高性价比椭偏仪价格和椭偏仪品牌。
型号:
FPANG-SE200BE-M450
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
进口椭偏仪
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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这款大型光谱椭偏仪SE200BM-M450具有450mm直径样品台,提供更为安全的样品操作和定位,具有250-850nm的波长范围,是美国Angstrom公司为大尺寸样品薄膜厚度测量而设计的美国进口光谱椭偏仪,Spectroscopic,Ellipsometer,具有高性价比椭偏仪价格椭偏仪品牌
大型光谱椭偏仪
与反射计或反射光谱技术不同的是,光谱椭偏仪参数Psi 和Del并非在常见入射角下获得。通过改变入射角大小,可获得许多组数据,这样就非常有助于优化椭偏仪测量薄膜或样本表面的能力,因此变角椭偏仪功能远远大于固定角椭偏仪。
改变椭偏仪入射角的方法有两种,一种是手动调节,一种是自动调节入射角,我们可提供两种模式的椭偏仪。
大型光谱椭偏仪
大型光谱椭偏仪特色
特别为大尺寸晶圆等样品薄膜测量而设计
易于安装,拆卸和维护
先进的光学设计
自动改变入射角,入射角分辨率高达0.01度
高功率光源适合多种应用
采用阵列探测器确保高速测量
测量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于实或在线监测薄膜厚度和折射率
具有齐全的光学常数数据库
提供工程师模式,服务模式和用户模式三种使用模式
灵活的工程师模式用于各种安装设置和光学模型测量
一键快速测量
全自动标定和初始化
精密样品准直界面直接样品准直,不需要额外光学
精密高度和倾斜调整
适合不同材料和不同后的样品衬底基片
2D和3D数据显示输出
大型光谱椭偏仪参数
波长范围:250-850nm 
波长分辨率:1nm
测量点大小:1-5mm可调
入射角:0-90度可调
入射角分辨率:5度
可测样品大小:高达450mm 直径
可测样品厚度:高达2mm 
测量薄膜厚度:0nm ---20um
测量时间:~1s/点
精度:~0.25%
重复精度:<1A
大型光谱椭偏仪

大型光谱椭偏仪
大型光谱椭偏仪可选配件
反射或透射光度测量配件
微点测量小面积
X-Y位移台用于厚度绘图
加热台/制冷台用于薄膜动力学研究
垂直样品安装测角计
波长拓宽到IR范围
扫描单色仪配置

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