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等离子体增强原子层沉积系统
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等离子体增强原子层沉积系统

等离子体增强原子层沉积系统采用更大的腔室和等离子ALD模块,获得更好的原子层沉积效果。
型号:
FPCTE-Play
品牌:
进口
价格:
¥0.00
类别:
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  • 商品详情
等离子体增强原子层沉积系统采用更大的腔室和等离子ALD模块,获得更好的原子层沉积效果。
等离子体增强原子层沉积系统特点
腔室圆柱形和工程设计的流型均匀性。
适用于多种不同的基板和沉积材料。
出于安全目的,在分离的区域进行前体、泵送、捕集和控制。
用户友好且易于访问所有组件
等离子体增强原子层沉积系统规格参数
不锈钢腔室
具有4-8条不同前体(冷和热)管线的前体进料系统
配备快速气动阀的前体进料系统。
多段温度控制:前体、加热夹套,范围0-200ºC,分辨率1ºC腔室,范围0-300ºC,分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口,范围0-150ºC,分辨率1ºC。
基本压力为10-1/10-3毫巴。
工具尺寸,1000x600x1000mm。
带触摸屏的控制系统:
系统状态信息:气体流量、温度、压力和阀门。
过程监控:压力和温度。偏差警报和安全锁。
配方处理和实时监控。
自动盖和人体工程学设计。视觉和声音警报。

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