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大型自动光学检测系统AOI
  • 大型自动光学检测系统AOI和MVP公司自动光学检测机器MVP900-孚光精仪

大型自动光学检测系统AOI

大型自动光学检测系统AOI是为14''晶圆光学检测设计的自动光学检测机器,非常适合微电子与半导体检测,自动光学检测晶圆、芯片、引线键合等。
型号:
FPMVP-MVP900
品牌:
进口
价格:
¥0.00
类别:
客服热线 021-2279 9028 邮箱: info@felles.cn  孚光精仪-领先的进口光学精密仪器服务商,随时为您提供服务。

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大型自动光学检测系统AOI是为14''晶圆光学检测设计的自动光学检测机器,非常适合微电子与半导体检测,自动光学检测晶圆、芯片、引线键合等。
大型自动光学检测系统AOI的900系列是一个模块化AOI检查平台,提供一系列先进的光学和操控性
解决方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。摄像头和光学系统可扩展到分辨率低于1微米。此外,一系列可定制物料搬运配置包括…在内刀库处理、带钢处理、托盘处理和晶圆处理。
大型自动光学检测系统AOI非常适合晶片、芯片和引线、键合检查等。提供自动检查和校准功能,适合半导体和微电子领域的测量解决方案。
大型自动光学检测系统AOI平台提供最高的分辨率,2D和3D功能和光学,微电子、包装和三坐标测量功能。
大型自动光学检测系统AOI使用高分辨率3D系统、12MP分辨率摄像头、多层照明和多通道技术。
大型自动光学检测系统AOI特点
满足100级超净间标准 (请联系我们确认)
较高测量能力,较大吞吐量
高分辨率3D检测,微光学物镜,
100-300mm晶圆
引线键合检测
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大型自动光学检测系统AOI规格参数
型号 MVP900 +LP7 +LP15 +Micro
检测能力 晶圆,切片晶圆,引线键合,引线框架,微电子,3D粘贴,焊剂,保形,环氧树脂,胶水,RF, BGA, CMM,模具、表面检查、陶瓷、厚膜、汽车等
编程速度 增强的工具,允许您使用或不借助CAD生成程序
X和Y运动系统 精密XY位移台具有0.5微米的定位精度
光学分辨率 0.3~5um可选择(请您订购时选择确定分辨率)
光学相机 分辨率2500万像素或1200万像素可选
光学照明 白光或Quad彩色照明
3D测量原理 3D光源照明 激光轮廓仪 激光轮廓仪 微观测量
3D速度   0.5cm/s 2.4cm/s 由应用决定
3D传感器
XY分辨率
  2.5um  5um  250-350nm
3D传感器
Z重复精度
  0.3um  0.4um  0.5um 
最大零件高度 35mm 35mm 35mm 35mm
计算机 多线程高级计算机,配置不低于1TB SSD硬盘,32-256G内存,Linux系统
检测的外部尺寸 355mm x 355mm  (14'')
片厚 0.01-12.5mm
外形尺寸 W844mm x D1066mm x H1473mm 
传送带长度 850mm 
供电要求 208-240VAC,10A, 50/60Hz 
重量 680kg 
符合标准 S2/S8, CE

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