当前位置: 首页  >> 产品展示  >> 材料物理仪器
品牌:
价格:
  • 这套聚焦离子束蚀刻系统是一种超高真空UHV条件多功能FIB系统,既可以配置为扫描电子显微镜SEM,也可以配置为结合SEM和高性能聚焦离子束FIB的双束平台。
  • 超高真空极低温强磁场扫描隧道显微镜是高性能扫描隧道显微镜应用于前沿表面科学研究的理想工具,实现了最低的基温和强磁场。基问可达40mK (typecal 30 mK),可以根据研究目标定制样品制备系统,是研究超导性和低温物理的基础。
  • 低温高真空针尖增强拉曼光谱系统采用全球第一种低温单分子成像方法,在低温高真空条件下,可实现亚纳米级拉曼光谱成像,提高信噪比和灵敏度。
  • 这超高真空超低温四探针SPM是超高真空室内应用设计的UHV极低温多探针扫描探针显微镜,得益于多探针SPM优异性能,这款产品可用于纳米技术。这超高真空超低温四探针SPM采用四个独立控制的探针扫描显微镜,用于器件评价和超低温等宽温度范围内的微纳尺度表面电导率测量。
  • 这高真空极低温扫描探针显微镜是超高真空室内应用设计的高真空极低温SPM扫描探针显微镜,可搭建成近场扫描显微镜和拉曼显微镜。
  • 超低温磁场扫描隧道显微镜是超低温高磁场表面物理研究设计的STM扫描隧道显微镜。
  • 这款低温UHV扫描探针显微镜是超高真空室内应用设计的高真空低温SPM扫描探针显微镜。样品预处理和探针清洗可在超高真空室中进行,使超低温STM/AFM能够进行原子或分子水平的分辨率观测。
  • 这款晶圆热退火炉是半导体晶片惰性气氛快速热退火系统,适合晶圆的最大直径为100mm,晶圆通过上部快速检修门手动装入腔室,并放置在热补偿石墨台上。加热器系统基于线性卤素灯,位于炉体下方。这种设计确保了均匀的晶圆加热,沿晶圆表面具有红外发射的非均匀吸收(例如,具有成形金属拓扑结构的晶圆)。
  • 这款半导体经晶圆热处理系统是为半导体晶圆在可控气体、真空、氧化或还原气氛中的晶圆高温处理系统,可对晶圆真空退火,氧气退火处理。 铝室的特殊设计允许在极高温度(高达1300°С)下进行热退火,并结合长时间退火(高达60分钟)。
  • 等离子体增强化学气相沉积系统是采用PECVD技术专业为介质膜镀膜设计的化学气相沉积设备。
  • 电感耦合等离子体化学气相沉积系统是为等离子化学蚀刻系统应用设计的反应离子蚀刻RIE和ICPCVD系统,将反应离子刻蚀RIE和电感耦合等离子体刻蚀ICP两种等离子体化学刻蚀模式相结合.
  • 电子束蒸发系统是按照“从实验室到工厂”的方法设计的电子束镀膜蒸发系统,既适用于密集的研发活动,也适用于中试生产。考虑到“提离”工艺的具体特点,该电子束蒸发系统适用于直径不超过200mm的单晶片以及安装在球形型材支架上的3×∅3“或6×∅2”晶片的沉积。
  • 磁控溅射物理气相沉积是多功能高压PVD系统,用于磁控溅射和多组分薄膜的热蒸发,用于批量晶圆物理气相沉积加工.
  • 这款高压PVD系统配置适合在晶圆溅射金属膜,磁性材料,多组分氧化物,得益于它灵活的配置和特殊的晶圆加热器设计,PVD可以在温度最高900℃的衬底上溅射金属膜层和磁性材料,最大容纳晶圆直径为150mm,订制后最大可容纳200mm直径晶圆。
  • 这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,非常适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。
  • 三腔室分子束外延系统是带有三个MBE分子束外延生长腔室的异质结材料MBE生长设备,可用于在高达∅100mm的衬底上以及三个2英寸以上衬底上一次精确生长外延层,获得极好的厚度和均匀性能。三腔室分子束外延系统使用PA-МВЕ和NH3-MBE特殊型号的MBE生长设备,可生长InAlGaAsSb或InGaAlN外延异质结构。
  • 这款III族氮化物分子束外延系统专业为A3N材料生长设计的MBE设备,适合氨气高温下制备生长A3N半导体材料,提供非常广泛的可用生长参数(有效氮通量、衬底温度、生长过程中的真空度)。III族氮化物分子束外延系统设计在衬底上提供极高的温度(>1200℃)以及在长生长周期中加热阶段的可靠工作。利用氨作为活性氮源,可以生长出高质量、厚的AlN/AlGaN缓冲层。这项技术的结果是生长出位错密度极低的活性层,为分子束外延(MBE)创造了记录。
  • 这款多功能紧凑型MBE系统具有三个腔室,适合用于А3В5, 宽带А2В6  和А3N 化合物(订制版本)的生长,MBE系统设计吸收了这些材料系统中分子束外延的最新成果,非常适合用于半导体材料领域中基于А3В5 宽带А2В6和III氮化物的材料生长研发。
多 快 好 省
新手上路
顾客必读会员等级折扣商品退货保障
购物指南
购物流程会员介绍常见问题联系客服
配送方式
上门自提211限时达配送服务查询配送费收取标准海外配送
支付方式
货到付款在线支付邮局汇款公司转账
售后服务
售后政策价格保障退款说明返修/退换货

在线客服系统