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型号 |
SRM100 |
SRM300 |
SRM500 |
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探测器类型 |
CCD or CMOS Array |
CCD or CMOS Array |
CCD or CMOS and InGaAs Array |
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波长范围 |
190-1100nm |
370-1100nm |
190-1700nm |
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波长精度 |
0.01-3nm |
0.01-3nm |
0.01-3nm |
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可测薄膜厚度范围 |
5nm-50 µm |
20nm-1000 µm |
5nm -1000 µm |
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厚度精度 |
< 1Å (1 sigma from 50 thickness readings for 1500Å Thermal SiO2 on Si Wafer) |
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样品台 |
黑色阳极氧化真空吸盘，典型的Rho Theta，尺寸紧凑，200mm、300mm或根据要求定制尺寸 | ||
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工作距离 |
~ 20mm (从晶圆表面计算) |
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测量时间 |
0.1ms-10s, 用户可定义 |
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用户设置功能 |
波长范围、波长点、积分时间、光谱平均数、平滑因子 | ||
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通讯接口 |
USB |
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操作系统 |
Both 32bit and 64 Bit, Win XP, 7, 8, 10 |
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计算机***低配置 |
Intel i3 or above with minimum 500 MB space, 4GB RAM |
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供电要求 |
110– 240 VAC /50-60Hz, 1.5 A |
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光源 |
Deuterium + Tungsten Halogen |
Tungsten Halogen |
Deuterium + Tungsten Halogen |
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光源强度 |
Adjustable |
Adjustable |
Adjustable |
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灯泡寿命 |
4000 hrs. |
10000 hrs. |
4000 hrs. |
