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薄膜测厚仪
  • 薄膜测厚仪TohoSpec 3100是高精度薄膜厚度测量系统

薄膜测厚仪

薄膜测厚仪TohoSpec 3100是高精度薄膜厚度测量系统,采用小光斑光谱反射计获得薄膜厚度信息,可靠的固态线性二极管阵列可快速、精确地测量单层薄膜,如氧化物、氮化物和光刻胶,以及厚度范围为100Å至30µm的多达3层薄膜堆叠的顶层。
型号:
FPTOH-TOHOSPEC3100
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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薄膜测厚仪TohoSpec 3100是高精度薄膜厚度测量系统,采用小光斑光谱反射计获得薄膜厚度信息,可靠的固态线性二极管阵列可快速、精确地测量单层薄膜,如氧化物、氮化物和光刻胶,以及厚度范围为100Å至30µm的多达3层薄膜堆叠的顶层。
薄膜测厚仪系统具有卓越的价值,配有多达15种标准薄膜厚度测量算法,在世界各地的实验室中使用,以紧凑的设计提供精确的薄膜厚度测量。
薄膜测厚仪应用
大量应用中提供精确的薄膜厚度测量。保证3层测量,在某些情况下根据参数超过3层。测量具有一定反射率的***光滑或半光滑表面
LED,太阳能,FPD/LCD,OLED,Photomask,电源设备,SOI,HDD磁头等。
薄膜测厚仪规格参数
薄膜层数:***多3层
波长范围:380-800nm
重复精度:2 Å
薄膜类型:可测
n&k数值:可测
测量时间:0.1-25秒
可测薄膜厚度:100Å~30um
可测晶圆尺寸:3,4,5,6,8英寸

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