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晶圆ESD测试仪
  • 晶圆ESD测试仪|ESD分析测量仪器可用于HBM|MM|TLP|VF-TLP|HMM-孚光精仪

晶圆ESD测试仪

晶圆ESD测试仪是为晶圆和器件接地静电测试设计的ESD分析测量仪器,可用于人体模型(HBM)、机器模型(MM)、传输线脉冲(TLP)、极快传输线脉冲(VF-TLP)和人体金属模型(HMM)。
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晶圆ESD测试仪是为晶圆和器件接地静电测试设计的ESD分析测量仪器,可用于人体模型(HBM)、机器模型(MM)、传输线脉冲(TLP)、极快传输线脉冲(VF-TLP)和人体金属模型(HMM)。
晶圆ESD测试仪2针式设置减少了测试仪的寄生性,它可以捕获波形数据,并且可以自动测试数千针。
晶圆ESD测试仪“全波形”ESD测试仪一个系统提供所有2针封装零件、裸模的ESD试验,和晶圆级器件可扩展以提供全面的ESD测试是否符合ESD标准和工程评估。
晶圆ESD测试仪的波形发生器具有:
人体模型,传输线脉冲,极快传输线脉冲,超快传输线脉冲,人体金属模型
晶圆ESD测试仪PurePulse的集成控制设备测试平台、示波器和源测量单元(SMU).
晶圆ESD测试仪特点
模块化设计,便于扩展和定制
构建您现在需要的系统-根据您的自身要求
添加脉冲发生器、自动化和/或新探测
满足未来需求的选项
一致的软件界面
其他制造商的发电机和设备
手动和自动测试
成套设备用带插座的测试夹具板
手动晶圆探测
带自动步进软件的飞行探针
DUT响应测量和显示
可验证测试:示波器记录的应力波形
高分辨率源仪表自动测量
检测故障级别
直流曲线跟踪

晶圆ESD测试仪规格参数
HBM
最大电压+/-4KV (可选8KV)
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
TLP
最大电压:+/-1kV
脉宽:100ns 
上升沿:2ns, 10ns 
电流和电压波形记录
VF-TLP
最大电压:+/-750kV
脉宽:1ns, 2ns, 5ns, 10ns 
上升沿:100ps 
HMM
最大电压+/-16KV 
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
MM
最大电压+/-400V 
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
DC漏电: 100pA 地板
DC偏置:高达10个偏置供应,+/-40V
电动定位器:Signtone  FP-100
晶圆测试:Signatone 半自动探针台

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