移相点衍射干涉仪用于表面形状和透射波前质量的超高精度测量。
移相点衍射干涉仪检测表面或波前的绝对图形。绝对数字是指从绝对参考(即亚波长孔径衍射产生的完美球面波阵面)计算测量形式。
性能指标
峰谷绝对精度:±0.6 nm(λ/1000)
峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
波前RMS重复性:<0.23 nm(λ/2800)
简单RMS重复性:<0.06 nm(λ/10500)
激光类型和波长:稳定的He-Ne,632.8 nm
数值孔径NA:0.55(f#0.91)
数据采集:相移干涉测量法(PSI)