gao精度六足位移台是六轴定位台hexapod,具有稳定的6DOF系统,旨在以gao精度和1.5µrad的分辨率在空间中定位,适合gao精度六自由度定位应用。
gao精度六足位移台具有gao分辨率执行器和gao精度球形接头的配置和集成使KUBAN六足能够实现gao性能的分辨率和可重复性,有效载荷gao达500公斤。
gao精度六足位移台*色
gao度600mm
负载gao达500kg
分辨率+/-2.5urad
绝对编码器
gao精度六足位移台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
gao精度六足位移台规格参数
行程范围Tx,Ty:+/-75mm
行程范围:Tz: +/-45mm
行程范围:Rx,Ry:+/-5度
行程范围:Rz: +/-10度
分辨率Tx,Ty: 0.2um
分辨率Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry: 1.5urad
分辨率Rz: 2urad
重复精度Tx,Ty: +/-0.5um
重复精度Tz: +/-0.25um
重复精度Rx,Ry:+/-2.5urad
重复精度Rz: +/-4urad
速度Tx, Ty: 0.9mm/s
速度:Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.12度/秒
速度Rz : 0.3度/秒
负载: 500kg
工作温度:0-50℃
位移平台: dia450mm
中间通孔:dia 200mm
自身重量:140kg
线缆长度:5m
供电要求:110-240VAC