高精度重型
六轴并联定位平台是高负载六自由度定位平台hexapod,适合高精度六自由度定位应用。
高精度重型
六轴并联定位平台ZONDA六足是高性能6DOF定位系统,满足高精度、稳定性、精度、重载和大行程的应用。
高精度重型
六轴并联定位平台六吊舱设计用于定位高达400公斤的有效载荷,分辨率仅为0.1µm,在XY方向为400毫米,在Z方向为300毫米,在Rx、Ry和Rz三个旋转方向为40°时提供了出色的行程。
高精度重型
六轴并联定位平台ZONDA六足具有无与伦比的精度和热稳定性特性,这要归功于集成了具有非常低CTE(热膨胀系数)的Invar组件、作为致动器标准集成的线性绝对编码器以及特别刚性的接头设计。
高精度重型
六轴并联定位平台特色
高稳定性
负载高达400kg
大行程
可用于真空环境
高精度重型
六轴并联定位平台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
高精度六轴并联定位平台参数
行程范围Tx,Ty:+/-200mm
行程范围:Tz: +/-150mm
行程范围:Rx,Ry:+/-20度
行程范围:Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry,Rz: 0.5urad
重复精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重复精度Rx,Ry,Rz:+/-1urad
速度Tx, Ty: 0.8mm/s
速度:Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.2度/秒
速度Rz : 0.4度/秒
负载: 400kg
刚度 XY:8.5N/um
刚度Z: 30N/um
工作温度:0-75℃
位移平台: dia720mm
中间通孔:dia 640mm
自身重量:99kg
线缆长度:3m
供电要求:110-240VAC