同步辐射反射镜是专业为同步辐射应用设计的同步辐射镜和极紫外反射镜。
同步辐射和极紫外光学是当今科学和工业的尖端技术,由于涉及到超级小的波长和超高真空腔体,同步辐射设备仪器往往涉及原子尺寸的研究,因为,对于同步辐射反射镜的要求很高。
同步辐射反射镜采用表面误差定义掠入射光学性能,定义实际镜片与理想镜片表面的***大PV偏离和和平均RMS偏离。由于聚焦光学镜片质量和掠入射光学镜片质量由镜片斜分布决定,通常采用RMS误差斜率定义镜片表面精度。通常误差斜率范围从0.5arcsec/rms(平面）到1arcsec/rms(球面）。
同步辐射反射镜表面结构
平面-可获得误差斜率
球面和柱面-较*的斜率误差
环面,椭圆/抛物线圆柱,椭圆环面-一般的误差斜率
椭球(旋转),抛物面,双曲面,自由曲面-一般的误差斜率
同步辐射反射镜镜片材质
低同步辐射通量：微晶玻璃,Sitall CO-115M,熔融石英FS, 零膨胀
玻璃ULE,光学玻璃（
派莱克斯玻璃，BK7)
高同步辐射通量：单晶硅,
碳化硅CVD,铜化学镀镍，铝化学镀镍
同步辐射反射镜镜片镀膜
同步辐射反射镜镜片镀膜材料通常有Au, Pt, Rh, Ni, Pd, Al, Si, C, Ru, SiO2, Al/MgF
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Platinum |
Gold Standard EUV (Au_40 nm / Cr_binder) |
Nickel |
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R~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm |
R ~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm |
R~ 60 - 68 % @ 200 nm - 120 nm |
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R~ 60 - 69 % @ 65 nm - 27 nm |
R ~ 55 - 65 % @ 65 nm - 25 nm |
R~ 56 - 60 % @ 120 nm - 40 nm |
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R~ 55 - 60 % @ 27 nm - 22 nm |
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R~ 60 - 70 % @ 41 nm - 30 nm |
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R ~ 60 - 65 % @ 22 nm - 12 nm |
R~ 61 - 70 % @ 25 nm - 15 nm |
R~ 30 - 60 % @ 30 nm - 20 nm |
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R ~ 50 - 55 % @ 12 nm - 10 nm |
R~ 70 - 71 % @ 15 nm - 9 nm |
R ~ 30 - 40 % @ 20 nm - 16 nm |
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图示：膜厚度在1埃时的反射率和能量带宽,特定入射角的Au, Be and C镀膜高能截止曲线.
