真空电阻式热蒸发镀膜机CRTE & THE是***具成本效益的真空沉积镀膜技术之一,热蒸发在沉积有机材料如OLED(有机发光二极管)方面有许多应用。
真空电阻式热蒸发镀膜机特点
电抛光不锈钢腔室(D形盒)
带手动快门的前门上的4''直径观察口
匹配双级旋转叶片泵的涡轮分子真空泵系统
带沉积控制器的石英
晶体厚度传感器
带数字显示和读数的全量程真空计
***多四个带独立百叶窗的电阻热源
半自动控制系统
真空电阻式热蒸发镀膜机具有箱形或D形腔室,其数量与指定的源数量相同,标准真空系统是涡轮或低温泵;也可使用带有扩散泵的系统。
基板载物台可将一个或多个样品保持为平面或圆顶形状,可旋转也可不旋转,简单或倾斜角度,冷却或加热至800°C的水或液氮,适合在不破坏真空的情况下进行发射或*换掩模。
真空电阻式热蒸发镀膜机还生产PLC或PC控制系统,可以带有或不带有lod锁或手套箱。