当前位置: 首页  >> 产品展示  >> 材料物理仪器  >> 物理气相沉积PVD  >> 查看详情
磁控溅射系统
  • 磁控溅射系统_磁控溅射沉积系统MagSput适合磁控溅射镀膜-孚光精仪

磁控溅射系统

磁控溅射系统MagSput™是下一代磁控溅射沉积系统,实用性腔,可扩展性高,且高度可靠,非常适合磁控溅射镀膜科学研究。
型号:
FPTOR-MagSput
品牌:
进口
价格:
¥0.00
类别:
客服热线 021-2279 9028 邮箱: info@felles.cn  孚光精仪-领先的进口光学精密仪器服务商,随时为您提供服务。

销售排行榜

    暂无信息

推荐

浏览历史

  • 商品详情

磁控溅射系统MagSput™是下一代磁控溅射沉积系统,实用性腔,可扩展性高,且高度可靠,非常适合磁控溅射镀膜科学研究。
磁控溅射系统完全可定制。该腔室可设计为接受额外的蒸发源,未使用的端口用法兰封闭,以便将来添加。
磁控溅射系统附加设备可以包括磁控管枪、热阻源或电子束蒸发。
磁控溅射系统MagSput™是专为研发和原型生产而设计的柔性平面磁控溅射系统。该系统可用于开发各种应用的沉积工艺,包括多层光学涂层、传感器设备、太阳能电池、燃料电池、薄膜研究、超导体研究、ASIC、MEMs、磁性设备和生物医学研究。
柔性平面磁控溅射
磁控溅射系统MagSput™易于重新配置,适用于需要不同系列沉积材料的应用。该系统处理直径达12英寸的晶片,并容纳奇数尺寸的基板。此外,由于多枪能力,可以进行共溅射、不破坏真空的顺序溅射和反应溅射(使用活性气体混合物)。带有特殊安装的独立火炮可进行角度调整。
磁控溅射系统MagSput™采用基于Labview™的软件,带来了最先进、用户友好的计算机控制™ ,该软件的自动过程控制确保了更有效的沉积以及操作的简便性。手动选项可轻松启动和故障排除。
磁控溅射系统规格参数
电抛光不锈钢腔室(D形盒)
带手动快门的前门上的4“直径观察口
具有各种靶尺寸的单/多磁控管枪组件
所有光源的手动快门组件
直流/射频溅射沉积
匹配双级旋转叶片泵的涡轮分子真空泵系统
带沉积控制器的石英晶体厚度传感器
带数字读数的质量流量控制器
带显示和读数的全量程真空计
容易的目标安装
半自动控制系统

相关商品

    暂无信息
多 快 好 省
新手上路
顾客必读会员等级折扣商品退货保障
购物指南
购物流程会员介绍常见问题联系客服
配送方式
上门自提211限时达配送服务查询配送费收取标准海外配送
支付方式
货到付款在线支付邮局汇款公司转账
售后服务
售后政策价格保障退款说明返修/退换货

在线客服系统