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专业手动探针台
  • 专业手动探针台|圆测试探针台|APOLLOWAVE适合晶圆测试

专业手动探针台

这款专业手动探针台是专业为晶圆测试设计的晶圆测试探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆测试需要,工作温度-60℃~350℃,特别适合晶圆高温和低温环境下温度特性测试。
型号:
FPAPO-α200CS
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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这款专业手动探针台是专业为晶圆测试设计的晶圆测试探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆测试需要,工作温度-60℃~350℃,特别适合晶圆高温和低温环境下温度特性测试。
专业手动探针台特点
可选择8''晶圆和12''晶圆配置
工作温度-60℃~350℃
可配备护罩,防止露水凝结
可配备护罩,提供较低噪音环境
使用空气快速定位的测微计进行粗略移动和微调
压盘的Z运动有粗运动和细运动,粗运动可以用杠杆操作可以用千分尺调整。
专业手动探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试:20KV DC/200A
RF测试
各种电阻测量,如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试,如TDDB
专业手动探针台可选配件
Thermal chuck from -60°C to +350°C
探针卡(4.5''方形PCB板)
各种光源
三目显微镜(标配体视显微镜)
CCD相机
专业手动探针台可以连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
专业手动探针台规格参数

型号 α200CS α300CS
晶圆卡片尺寸 ~8英寸 ~12英寸
位移台行程(粗调) X:200mm, Y:200mm X:320mm, Y:320mm
位移台行程(精调) X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜ X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜
位移台Theta角范围 ±5° ±4°
Z轴位移台行程 0-0.3-0.5mm 0-0.3-0.5mm
Z轴位移台行程(精调) 10mm  10mm 
尺寸 W690×D780×H620㎜ W965×D930×H700㎜
重量 80kg 165kg

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专业手动探针台应用

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