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4英寸探针台
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4英寸探针台

这款4英寸探针台是专业为4英寸晶圆测试设计的通用手动探针台,可满足4英寸晶圆测试需要,测试温度范围室温~300℃,可满足高温和低温环境下晶圆温度特性测试,RF测试等典型应用。
型号:
FPAPO-ALPHA100
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
客服热线 021-2279 9028 邮箱: info@felles.cn  孚光精仪-领先的进口光学精密仪器服务商,随时为您提供服务。

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这款4英寸探针台是专业为4英寸晶圆测试设计的通用手动探针台,可满足4英寸晶圆测试需要,测试温度范围室温~300℃,可满足高温和低温环境下晶圆温度特性测试,RF测试等典型应用。
4英寸探针台特点
满足4''晶圆测试需要
测试温度:室温~300℃
可选择芯片固定配件
可配备护罩,防止露水凝结
可配备护罩,提供较低噪音环境
使用空气快速定位的测微计进行粗略移动和微调
压盘的Z运动有粗运动和细运动,粗运动可以用杠杆操作可以用千分尺调整。
4英寸探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试:20KV DC/200A
RF测试
各种电阻测量,如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试,如TDDB
4英寸探针台可选配件
Thermal chuck from室温 ~+300°C
各种光源
三目显微镜(标配体视显微镜)
4英寸探针台可以连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
4英寸探针台规格参数

型号 α100
晶圆卡片尺寸 ~4英寸
位移台行程(粗调) X:100mm, Y:110mm
位移台行程(精调) X:±6.5㎜ Y:±6.5㎜
位移台Theta角范围 ±5°
Z轴位移台行程 0-0.3-0.5mm
Z轴位移台行程(精调) 5mm 
尺寸 W320×H355×D490㎜
重量 25Kg

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