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光电测试探针台
  • 光电测试探针台|半自动变温光电探针台|AP-200|AP-300|适合晶圆光电流测试

光电测试探针台

这款光电测试探针台是专业为8英寸和12英寸晶圆光电流测试设计的专业半自动变温光电探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆变温光电测试需要,测试温度范围-60~350℃,特别适合高温和低温环境下晶圆变温测试和射频测试,可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准。
型号:
FPAPO-AP-200
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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这款光电测试探针台是专业为8英寸和12英寸晶圆光电流测试设计的专业半自动变温光电探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆变温光电测试需要,测试温度范围-60~350℃,特别适合高温和低温环境下晶圆变温测试和射频测试,可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准。
光电测试探针台特点
可选择6'',8''晶圆和12''晶圆配置
测试温度:-60℃~350℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
可选择芯片固定配件
可配备护罩,防止露水凝结
可配备屏蔽罩,提供较低噪音环境
配备专用测试软件,提高晶圆测试效率
采用图像识别技术,可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准

光电测试探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试:20KV DC/200A
RF射频测试
高功率器件测试20kV DC/200A
各种电阻测量,如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试,如TDDB
光电测试探针台可选配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割机
各种光源
三目显微镜(标配体视显微镜)
CCD相机
Probe card (4.5 inch square PCB)
光电测试探针台连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
光电测试探针台规格参数

型号 AP-200 AP-300
晶圆卡片尺寸 ~8英寸 ~12英寸
XY位移台行程(粗调) X:200mm, Y:400mm X:320mm, Y:500mm
XYZ位移台控制精度 0.1μm 0.1μm
XYZ位移台重复定位精度 ±2μm ±3μm
XY位移台精度 ±5μm ±10μm
XY位移台移动速度 30㎜/sec(Max) 25㎜/sec(Max)
Z位移台行程范围 30mm  80mm 
Z位移台移动速度 25㎜/sec(Max) 25㎜/sec(Max)
位移台θ范围 ±5deg ±6deg
θ分辨率 0.001度 0.000022294deg
尺寸 W760×D1000×H1020㎜ W880×D1260×H1030㎜
重量 400kg 800kg

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