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  • 这款光刻准分子激光器是专业为半导体工艺和微电子激光处理设计的高性能准分子激光器,适合超净间使用,满足掩膜版检测,紫外光刻,半导体处理,激光测量等应用要求。光刻准分子激光器采用***新的全金属/陶瓷技术,从而获得***长的激光寿命,不需要频繁维护,全面满足微电子和半导体工业超净间应用要求。
  • 窄线宽准分子激光器是专业为光谱学应用设计的窄光谱带宽准分子激光器,非常适合光刻,激光计量,荧光光谱,拉曼光谱,FBG等应用。
  • 这款大能量准分子激光器是为大能量紫外激光应用设计的大功率准分子激光器,非常适合脉冲激光沉积PLD等应用,193nm波长的激光脉冲能量高达150mJ,248nm的激光脉冲能量高达250mJ.
  • 这款高功率准分子激光器是按照工业标准打造的工艺级准分子激光器,具有良*的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。准分子激光器的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。
  • 这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W,193nm激光功率高达10W。
  • 中功率准分子激光器是全金属/陶瓷器件气体激光器,采用**的线性设计在紧凑封装中产生高能量准分子激光输出,静态和动态气体寿命远高于其它准分子激光器。在真空紫外157nm波长的F2气体寿命*势尤其明显,静态气体寿命超过15天,而其它品牌的准分子激光器气体寿命多为1天。适用于紫外激光微加工,可调谐激光泵浦,激光质谱分析等应用。可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽6-8ns,重复频率300Hz,248nm激光功率3,193nm激光功率高达4W。
  • 长寿命准分子激光器EX5D是按照工业激光标准设计的35W高功率准分子激光器,具有紧凑的激光器结构和高达60亿次脉冲的寿命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~12ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达35W,193nm激光功率高达20W。
  • 小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR(加固型)在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和***少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W,193nm激光功率高达4W。
  • 小型准分子激光器是一款真正的全功能微型准分子激光器,157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm时激光功率高达8W,在193nm激光功率高达4W,采用超紧凑型48 X 26 X 26厘米、15千克、风冷封装。
  • 这款微型准分子激光器是紧凑型准分子激光器,可吊装到无人机上用于航空激光应用,可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz,单脉冲能量8mJ,***大平均功率2W。
  • 这款248nm准分子激光器是KrF激光器和紫外激光器的代表产品,适合准分子激光医学,科研和激光应用。248nm准分子激光器是良*的紫外光源,脉冲能量高达10mJ,脉冲重复频率高达1000Hz。
  • 这款193nm准分子激光器是ArF激光器和深紫外激光器的代表产品,适合准分子激光医学,科研和激光应用。193nm准分子激光器是良*的紫外光源,脉冲能量高达6mJ,脉冲重复频率高达1000Hz。
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