193nm/248nm准分子激光器

型号：

FPGAM-EX10

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商品详情

193nm/248nm准分子激光器是全金属/陶瓷器件气体激光器,采用**的线性设计在紧凑封装中产生高能量准分子激光输出,静态和动态气体寿命远高于其它准分子激光器。在真空紫外157nm波长的F2气体寿命*势尤其明显，静态气体寿命超过15天，而其它品牌的准分子激光器气体寿命多为1天。适用于紫外激光微加工,可调谐激光泵浦,激光质谱分析等应用。可提供193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽6-8ns,重复频率300Hz,248nm激光功率3，193nm激光功率高达4W。
中功率准分子激光器具有较高重复频率和中等激光功率,结构紧凑而具有**的准分子激光性能,可靠性强,重复频率为250Hz和500Hz，KrF激光器248nm波长平均功率为12W.
高效放电
高效率是获得*异激光性能的关键.193nm/248nm准分子激光器的工作效率是同类小型准分子激光器的3倍。这意味着只需要输入1/3的能量就可以实现相同的准分子激光输出。*化的软电晕预电离状态在重复频率高达1000Hz时产生均匀的高效率放电，开关抖动小于2nS标准偏差。此外，这种激光效率的提高大大减少了沉积在放电中的能量浪费，从而降低了电磁干扰，大大减少了电极和元件的磨损。这也增加了整个中功率准分子激光器系统的使用寿命，并允许以***高重复率进行风冷操作。
193nm/248nm准分子激光器具有主动热稳定*性。这使得激光器能够长期工作，具有*异的指向稳定性，*于20urad/℃。
193nm/248nm准分子激光器*点
•易于使用的一体式紧凑结构
•内部真空泵和卤素过滤器
•计算机控制
•高脉冲稳定度
•超长气体寿命
•***新的全金属/陶瓷技术
•高稳定性电晕预电离
•10亿脉冲寿命
•70mJ/100Hz TEA二氧化碳版
193nm/248nm准分子激光器应用
•替代医用激光器
•电离源
•紫外激光微加工
•精密激光打标
•屈光手术
•拉曼光谱
193nm/248nm准分子激光器规格参数
工作物质 ArF KrF XeCl      XeF
波长nm 193 248 308      351
***大能量mJ 6        10 8       6
峰值功率MW 0.85      1.43     1.14    0.85
平均功率W@300Hz      1.8        3 2.4     1.8
动态气体寿命 12E6       18E6    20E6    15E6
50%能量
静态气体寿命 15天      30天    >3个月   30天
重复频率                             300Hz
脉宽ns 6-8ns
光束尺寸                        6 x 3 mm   V x H
稳定性                          <3%标准偏差
光束发散角 2 x 1 mRad V x H
冷却空气
激光管寿命 20亿脉冲
电源要求 120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                             8kg
尺寸                    13英寸x 7英寸x 7英寸

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光学测量仪器

光学成像系统

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