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  • 光纤耦合白光光源WLS100是一款交钥匙的光纤耦合白光源,最大限度地将宽带白光耦合到端接光纤(FC、SMA等)中。
  • 这款激光等离子体EUV光源是采用激光诱导等离子体LPP技术制造的LPP-EUV光刻光源,具有超高亮度和超低碎屑debris独特优势,非常适合取代Cymer公司LPP-EUV极紫外光源用于光刻。
  • 这款宽带等离子体光源XWS是激光泵浦等离子体超亮度光源,输出光谱范围180nm ~2500nm,输出光功率高达40W,可替代传统气体放电光源(如氙灯、氘灯、钨灯等)以及LED光源,具有更宽的光谱范围和更高的光谱亮度。
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