3D光学轮廓仪_表面形貌仪_三维台阶仪具有nanosystem白光干涉和移相干涉技术

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3D光学轮廓仪是具有白光干涉和相移干涉技术的表面形貌仪,具有高扫描速度,垂直分辨率高达亚纳米0.1nm,从而具有三维台阶仪功能。
3D光学轮廓仪NV系列具有探针尖端/倾斜功能，能够测量甚至高度倾斜的表面。可以虚拟测量任何表面，并立即显示生动的3D图像，如纹理,粗糙度,透明的样品等等。
3D光学轮廓仪特点
白光扫描干涉技术-非接触、无损、快速测量
触针仪器不能测量小于触针尖端直径的微凹凸。白光干涉测量法可以测量微几何形状的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相当高的分辨率。
移相干涉技术
相移干涉测量法是一种成熟的技术用于依赖于在受控相移期间获取的干扰数据，大多数通常由受控的机械振荡引起干扰物镜,它提供具有典型高度测量的完整3D图像,重复精度高达1nm。
区域扫描强度测量方法
与扫描视场中每个点的方法不同，WSI具有通过测量来减少测量时间的*点区域扫描
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轮廓仪的粗糙度测量功能

高可追溯性和重复精度
通过美国国家标准与技术研究院认证的超大规模集成电路步长标准样品进行校准。实现极高的精度和作为高度测量系统的可重复精度。
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光学轮廓仪的台阶高度测量功能
**的软件
给出台阶高度,粗糙度并进行3D数据分析
图像缝合功能
表面形貌分析
表面颜色和强度分析
灰度图像,二进制图像,彩色图像分析
高光谱图像分析
3D粗糙度分析
3D光学轮廓仪规格参数
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型号	NV-1800	NV-2400	NV-2700	NV-3200
测量技术	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉	白光干涉/移相干涉
FOV镜头	1x	1x	4位电动物镜塔台	4位电动物镜塔台
干涉物镜	单镜头	5镜头（手动）	5镜头（电动）	5镜头（电动）
照明	白光LED照明	白光LED照明	白光LED照明	白光LED照明
扫描范围	<=270um	<=270um	<=270um	<=270um
扫描速度	7.2微米/秒	12微米/秒	12微米/秒	12微米/秒
Tip/tilt	+/-3度（位移台tip/tilt）	探针+/-6度手动倾斜	探针+/-6度电动倾斜	探针+/-6度电动倾斜
垂直分辨率	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm	白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm
横向分辨率	0.2~4um	0.2~4um	0.2~4um	0.2~4um
台阶高度重复精度	0.2%@1sigma	0.1%@1sigma	0.1%@1sigma	0.1%@1sigma
XY行程	70x50mm手动	100x100mm电动	100x100mm电动	300x300mm电动
Z行程	30mm手动	100mm手动	100mm电动	100mm电动
位移台尺寸	90x90mm	230x230mm	230x230mm	445x445mm
FOV镜头可选	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x	0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x
干涉镜头可选	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x	2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x

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