光束线同步PLD系统

光束线同步PLD系统,新型脉冲激光沉积系统适合原位同步衍射/散射研究,精确了解影响薄膜界面形成和生长的机制。同步辐射X射线衍射和反射是研究薄膜结构和界面的一种重要方法。然而，至关重要的是，这些样品不能暴露在大气中，因为即使是亚单层污染也可能破坏表面效应或改变薄膜。
SURFACE原位光束线同步PLD系统是一种功能齐全的脉冲激光沉积系统，可用于同步加速器光束线。该设计的紧凑占地面积使系统能够安装在测角仪上。
光束线同步PLD系统保持了标准实验室系统的多功能性，如用于多个目标的目标转盘、高压RHEED系统、用于样品温度高达1200°C的激光加热系统以及带有真空样品存储的负载锁定系统。具有超精密旋转（围绕垂直于样品表面的轴±135°）、平移（x/y方向±6 mm，z方向±3 mm）和倾斜（±5°）运动的样品操纵器可以在不同的几何结构中进行衍射研究。操纵器的角度分辨率*于0.001°。紧凑的设置为探测器在系统周围的水平和垂直圆上的移动留出了足够的空间，光束出射窗口覆盖水平面上的55°（对于2θ=110°）和垂直面上的70°（对于掠入射几何中的2θ=70°）。
光束线同步PLD系统特点
全功能PLD系统*化用于同步加速器束线
紧凑的设计和集成的传输机构允许在几分钟内安装到测角仪上
精密样品操纵器可实现衍射研究的高分辨率基板旋转和倾斜
衬底温度高达1200°C的激光加热
用于八个目标的目标操纵器，窄设计可实现基板的宽角度可达性
可变目标基板距离：35 mm至100 mm
分体式沉积室设计，易于接近所有部件进行维护和校准
铍X射线窗在水平面上覆盖55°（对于2θ=110°），在垂直面上覆盖70°（对于掠入射几何中的2θ=70°）
带样品储存的集成负载锁定室
差动泵RHEED系统（腔室压力高达0.1毫巴），带电动喷枪调节
用于PLD的各种波长（紫外、可见光、红外）的YAG激光器
两种不同工艺气体的气体供应，通过流量控制器和电动泄漏阀进行PID压力控制