这款真空变温探针台是专业变温真空晶圆流测试设计的专业变温真空探针台,满足晶圆变温光电测试需要,测试温度范围达到液氮温度 -180℃~600℃,特别适合极高温和极低温环境下晶圆真空变温测试和射频测试。
真空变温探针台特点
测试温度：-180℃~600℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
即使在真空状态下，也可以使用外部操作型定位器（探头）移动致动器
良*的光和电屏蔽效果
MJ-8型探针台可用于霍尔效应测量
真空变温探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试：20KV DC/200A
RF射频测试
高功率器件测试20kV DC/200A
极高温和极低温晶圆温度特性测试
气体环境测试
真空变温探针台可选配件
冷热台 -180℃~+600°C
各种光源
三目显微镜（标配体视显微镜）
CCD相机
Probe card (4.5 inch square PCB)
真空变温探针台可连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
真空变温探针台规格参数
| 型号 | MJ-8 | MJ-10 |
| 晶圆卡片尺寸 | 20x20mm | φ60㎜ |
| 真空度（使用涡轮泵） | 10ｰ³ Pa | 10ｰ³ Pa |
| 腔室尺寸 | φ116×30㎜（H） | φ216×138㎜（H） |
| 探针移动距离 |
X：5㎜ Y：5㎜ Z：3㎜ |
X：8㎜ Y：5㎜ Z：8㎜ |
| 探针工作范围 | X:~18㎜ Y:~15㎜ | X:~40㎜ Y:~20㎜ |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
