场发射扫描电镜

场发射扫描电镜semiron5000是高分辨率FE-SEM扫描电镜,也是肖特基型高分辨率FE-SEM,采用65°锥形物镜，专为大样本检测而*化-无限制分析附件的短距离工作,可配备EDS、EBSD和WDS等探测器实现宽样本的高分辨率图像。
场发射扫描电镜特点
 安装65°锥形透镜（适用于宽试样）
 提供分辨率和高像素分辨率图像
 安装了超快扫描控制驱动程序
 提供多任务窗口
 允许大数据处理、存储和归档
 通过自动分级和平铺
 高性能分析软件和测量软件
场发射扫描电镜规格参数
光学系统参数
电子枪类型：肖特基FE-Tip
分辨率：1nm@30KV SE探测器，2nm@BSE探测器
放大倍率：10x~1,00,000x
图像：二次电子图像SEI, 可选背向散射电子图像BEI， TSEM图像
光束扫描模式：查找，检测，图像
加速电压：~30kv
冷凝器镜头：电磁2级
物镜镜头：65度椎镜头
图像移动：330x325um (XY), 360度旋转
探测器： ET型SE探测器，或CCD相机
自动功能：自动电子枪准直，自动聚焦，自动对比度亮度，发射电流等
显示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（检查模式），   图片模式（2048x1536~8192x6144）
图像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
XYZ位移范围：50,70,65mm
tilt倾斜：~60度
旋转：360度
类型：电动5轴位移台  
选配真空系统
高真空模式：10^-9 Torr
可选配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等