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压电旋转台
  • 压电旋转台SR-5018_压电旋转位移台采用德国smaract压电旋转台SR-5714技术,

压电旋转台

压电旋转台SR-5018是采用压电旋转台技术的压电旋转位移台,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。旋转角度分辨率< 0.5 μ°,350度可旋转,负载20N(2kg).
型号:
FPMAR-SR-5018
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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  • 商品详情
压电旋转台SR-5018是采用压电旋转台技术的压电旋转位移台,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转台SR-5018集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率(低于1μrad)和***高重复精度(高达5μrad)。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空(UHV)兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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压电旋转台规格参数
型号 SR-5018 SR-5714 SR-5714C
口径 8mm 25mm 25mm
S闭环传感器分辨率 15μ° 15 μ° 15 μ°
角度分辨率 < 1 μ° < 0.5 μ° < 0.5 μ°
扫描范围 > 3.8 m° > 2.3 m° > 2.3 m°
行程范围
定位台尺寸 50 x 50 x 16.5 mm3 45 x 45 x 12.5 mm3 57 x 57 x 13.75 mm3
负载 20N(2Kg) 25N(2.5Kg) 25N(2.5Kg)
适合***大真空度 10-6 mbar 10-6 mbar 10-11 mbar
角速度 15度/秒 9度/秒 9度/秒
步进 0.2 – 2.0 m° 0.2 – 3.0 m° 0.2 – 2.0 m°
***大频率 18.5KHZ 18.5KHZ 18.5KHZ
阻尼力Mb 7N cm 5N cm 5N cm
***大正向力Fn 20N 25N 25N
旋转台尺寸 Ø 41 mm Ø 57 mm Ø 48 mm
重量 100g 110g 105g
S闭环分辨率 15 μ° MSC/SDC - -
L闭环传感器分辨率 60 μ° - -
L闭环分辨率 60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU
- -
压电旋转台应用案例
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压电旋转台搭建的3D晶圆定位系统(4英寸晶圆)

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