大孔径压电旋转台是采用压电旋转台技术的压电旋转
位移台,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
大孔径压电旋转台SR-7012集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率（低于1μrad）和***高重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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大孔径压电旋转台规格参数
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型号 |
SR-7012 |
SR-7021 |
SR-12012 |
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口径 |
Ø 30 mm |
Ø 25 mm |
Ø 82 mm |
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S闭环传感器分辨率 |
15μ° |
15 μ° |
5 μ° |
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角度分辨率 |
< 0.5 μ° |
< 0.5 μ° |
< 1 μ° |
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扫描范围 |
>2.5 m° |
> 3.1 m° |
> 4 m° |
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行程范围 |
∞ |
∞ |
∞ |
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定位台尺寸 |
70 x 70 x 12 mm3 |
90 x 90 x 21 mm3 |
120 x 120 x 12 mm3 |
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负载 |
25N(2.5Kg) |
25N(2.5Kg) |
20N(2Kg) |
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适合***大真空度 |
10-11 mbar |
10-11mbar |
10-6mbar |
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角速度 |
9度/秒 |
9度/秒 |
10度/秒 |
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步进 |
0.2 – 2.0 m° |
0.2 – 2.0 m° |
0.3 – 1.5 m° |
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***大频率 |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
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阻尼力Mb |
10N cm |
10N cm |
15N cm |
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***大正向力Fn |
25N |
25N |
20N |
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旋转台尺寸 |
Ø 60 mm |
Ø 70 mm |
Ø 110 mm |
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重量 |
100g |
400g |
320g |
大孔径压电旋转台应用案例
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大孔径压电旋转台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
