聚合物薄膜测厚仪
这款聚合物薄膜测厚仪用于测量polymer films(聚合物薄膜、有机薄膜、高分子薄膜）和 photoresist films （光致抗蚀剂薄膜, 光刻胶膜,光刻薄膜,光阻膜）在加热或制冷情况下薄膜厚度和光学常量（n, k)的变化。为了这种特色的测量，我们特意研发了专业的软件和算法，使得该聚合物薄膜测厚仪能够给出薄膜的物理化学指标：例如玻璃化转变温度 glass transition temperature (Tg), ，热分解温度thermal degradation temperature (Td) ，薄膜的厚度测量范围也高达10nm--100微米。
