12英寸晶圆轮廓仪

12英寸晶圆轮廓仪是为半导体晶圆形貌测量设计的多功能晶圆形貌仪器，集成光学传感器,实现无接触地测量样本。
12英寸晶圆轮廓仪为半导体应用而开发，适用于12''晶圆检查,具有自对准功能
12英寸晶圆轮廓仪已应用于雕刻测量、纹理、抛光或微结构表面状态，尤其是在半导体晶圆的形貌测量。
**技术
彩色共焦
可见光和红外干涉测量
激光三角测量
所有表面均可测量（粗糙的,透明的，抛光的表面等）

12英寸晶圆轮廓仪规格参数
XYZ行程范围：300mm x 300mm x 100mm
***大速度：40mm/s
轴向平整度： <5u/300mm
轴向分辨率：0.062um
测量传感器：非接触式共聚焦传感器
测量范围：100um-25mm
Z轴分辨率：可达3nm
横向分辨率：0.9um
台阶高度测量：0.005%
粗糙度测量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小测量厚度：4um