晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造,晶圆品控,晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge Types |
Wafer Diameter |
精度 |
重复精度 |
Resistivity Range |
Thickness Range |
说明 |
MX 604 / MX 604-B |
silicon blocks |
±3% |
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0.25 - 25 Ohm*cm |
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MX 604-S |
2" - 8" |
±3% |
0.5% |
0.1 - 50 Ohm/square |
200 - 900µm |
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MX 604-ST |
125x125, 156x156mm
2"-6" |
±5% |
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0.06 - 30 Ohm*cm |
60 - 300µm |
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MX 608 |
6", 8" |
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0.001 - 200 Ohm*cm |
500 - 800µm |
厚度,TTV,电阻率,P/N掺杂 |
MX 608-q |
125x125, 156x156mm |
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0.1 - 50 Ohm*cm |
150 - 350µm |
厚度,TTV,电阻率 |
MX 6012 |
8", 12" |
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0.001 - 200 Ohm*cm |
600 - 900µm |
厚度,TTV,电阻率,P/N掺杂 |
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge Types |
Wafer Diameter |
Resistivity Range |
Thickness Range |
MX 601 |
up to 6" |
5E4 to 5E9 Ohm*cm |
350 - 650µm |
MX 6010 |
2", 3", 4" |
2E5 to 2E9 Ohm*cm |
300 - 600µm |