非晶硅激光刻膜机

这套超快激光非晶硅激光刻膜机是特别为太阳能产业光伏工业而设计的整套飞秒激光刻膜机系统。可用于光伏电池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蚀刻,晶圆边缘隔离，有可以当作激光刻膜机,激光划片机使用。
这套非晶硅电池激光刻膜机采用***为**的紫外飞秒激光和红外纳秒激光，可以同时提供如下四合一服务：
—  SiNx/SiO2去除,
      去除二氧化硅,去除氮化硅         
      边缘隔离晶圆    
      背接触激光烧结和激光刻槽    
      激光打标

其中紫外飞秒激光用于SiNx/SiO2的选择性烧蚀或切除(氮化硅膜蚀刻),配备的紫外飞秒激光可以非常精密地剥蚀SiNx(去除氮化硅膜),同时在Si层的直接或热效应降低到***低，从而增加载流子寿命（少子寿命）,避免微裂纹。而配备的1064nm的纳秒激光工作非常稳定而快速，将用于晶片的快速激光边缘隔离，激光打标和激光烧结。
该非晶硅激光刻膜机配备自动处理和扫描系统，支持5’’和6’’直径的硅晶片加工。同时配备机械视觉系统以随时调节激光束扫描,保持高度重复性和可靠性。
该非晶硅电池激光刻膜机配1级激光安装防护装置和灰尘消除系统，营造无尘加工环境，以保证飞秒激光的精密烧蚀和热效应影响的***小化。